名稱型號 | ·1200℃大口徑四溫區(qū)開啟式全自動CVD系統(tǒng) OTF-1200X-Ⅳ-/8.5″/11″//15″-CVD |
產(chǎn)品特點(diǎn) | ·采用觸控一體機(jī)控制三個模塊系統(tǒng) ·可存儲實(shí)驗(yàn)參數(shù)生成工藝曲線,可調(diào)取工藝曲線一鍵運(yùn)行設(shè)備 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,最大程度的減少能量損失 |
加熱爐系統(tǒng) | ·電源:AC380V 50HZ ·最大功率:36KW(設(shè)計最大功率) ·最高溫度1200(1200℃<30min) ·額定溫度:1100℃ ·建議升溫速率:≤10℃/min ·熱電偶:K型 數(shù)量:4支 ·加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 ·加熱區(qū)長度:1320mm(330+330+330+330mm) ·說明:可以根據(jù)客戶要求定制其他溫區(qū)長度 |
溫控系統(tǒng) | ·包含一款858P型溫度控制器(也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃) ·標(biāo)配4根歐米伽鎧裝熱電偶 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度:±1℃ ·可選購電腦溫度控制軟件用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
爐管 | ·高純石英管可以選配以下尺寸: ·8.5″:216 O.D x 208 I.D x 1700 L (mm) ·11″ :280 O.D x 272 I.D x 1700 L (mm) ·15″ :380 O.D x 372 I.D x 1700 L (mm) 石英管 石英管堵 ·可選購大口徑石英樣品臺 |
不銹鋼密封水冷法蘭系統(tǒng) | ·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O型密封圈密封 ·左側(cè)水冷法蘭包含真空壓力表、不銹鋼針閥和G1/4進(jìn)氣口 ·右側(cè)水冷法蘭:帶有1/4”不銹鋼針閥排氣口及KF40抽真空接口,方便連接到KF40使用的波紋管、泵和KF40擋板閥(如您的泵是KF25接口,需要配備一個KF40轉(zhuǎn)KF25轉(zhuǎn)接頭,可在我公司選購) |
水冷設(shè)備(選配) | ·型號:CW-5000 ·壓縮機(jī)功率:0.3KW ·水流速率:16L/min ·水箱容量:6L ·溫度控制:5-30℃ |
供氣系統(tǒng) | ·四通道質(zhì)子流量控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量精確控制(±0.02%) ·流量范圍: 一路 0-100SCCM 二路 0-200SCCM 三路 0-200SCCM 四路 0-500SCCM ·氣體進(jìn)出口配件:6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管 ·電磁閥控制氣體進(jìn)出 ·可以通過觸控一體機(jī)進(jìn)行流量設(shè)置 |
真空系統(tǒng) | ·配套機(jī)械泵,真空度可以達(dá)到10-2 ttor ·配套分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 ttor(選配) |
軟件控制系統(tǒng) | 1.通過觸控一體機(jī)可以手動和自動控制加熱爐系統(tǒng),供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng) 2.預(yù)設(shè)工藝自動控制流程步驟如下圖 3.加熱爐溫度,管內(nèi)真空,進(jìn)氣流量,這些數(shù)據(jù)可以實(shí)時記錄。如下圖 4.軟件有工藝曲線自動生成功能,把加熱爐溫度,真空度,進(jìn)氣流量等參數(shù)進(jìn)行存儲生成工藝流程,最大可以存儲100條工藝流程,也可以調(diào)出工藝流程一鍵自動運(yùn)行設(shè)備 |
產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸:2520*1050*1510mm(長*寬*高 ) |
重量 | ·約210kg |
保質(zhì)期 | ·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
使用注意事項 | · 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé) · 設(shè)備需在獨(dú)立供電網(wǎng)下工作,電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi),不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng),遠(yuǎn)離中頻設(shè)備,防止空間電磁輻射 ·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備,或者大型感性負(fù)載,應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波,配置電容柜自動補(bǔ)償,諧波檢測和治理,對設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理,否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞!此類問題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不屬于保修范圍 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在液體飛濺場所 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末 ·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正?,F(xiàn)象,可使用修補(bǔ)劑修補(bǔ),加熱元件為損耗件,在電爐長時間使用后無法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換 ·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1000℃,低溫運(yùn)行會存在溫度振蕩 ·不建議500℃以上開啟爐膛 |
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