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1200℃雙溫區(qū)坩堝移動(dòng)管式爐
型號(hào)：
OTF-1200X-II-SF-DVD
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-Ⅱ-SF-DVD 是一款真空或氣氛狀態(tài)坩堝在爐管內(nèi)移動(dòng)的小型開(kāi)啟式管式爐系統(tǒng)，最高溫度為1200℃，兩個(gè)溫區(qū)有獨(dú)立的控溫儀表控制，坩堝配有隨動(dòng)的檢測(cè)熱偶，坩堝可在第一個(gè)溫區(qū)內(nèi)移動(dòng)（也可定制全溫區(qū)移動(dòng)），通過(guò)觸摸屏可以設(shè)置樣品或坩堝在爐管內(nèi)的位置以并讀取樣品的實(shí)時(shí)溫度，并可以設(shè)定坩堝的移動(dòng)速度同時(shí)讀取坩堝的實(shí)時(shí)溫度變化，該設(shè)備可符合混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā) (RTE),以及在各種氣氛/真空下進(jìn)行的水平布里奇曼晶體生長(zhǎng)(HDC)的多種工藝。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號(hào)

·1200℃雙溫區(qū)坩堝移動(dòng)管式爐  OTF-1200X-Ⅱ-SF-DVD
產(chǎn)品特點(diǎn)

·步進(jìn)電機(jī)+減速機(jī)+壓縮真空波紋管實(shí)現(xiàn)坩堝在管內(nèi)移動(dòng)

·可以滿足真空/氣氛下的樣品移動(dòng)，并可設(shè)定速度和位移

·坩堝底部有測(cè)溫?zé)犭娕紝?shí)時(shí)檢測(cè)樣品溫度

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·右端法蘭采用卡箍連接方便取放樣品

·采用雙溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐，可以滿足雙區(qū)溫度梯度，開(kāi)啟是結(jié)構(gòu)方便爐體降溫，并方便更換爐管

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加熱爐基本參數(shù)

·電源：AC 單相 220V 50/60HZ，

·功率:3KW

·最高加熱溫度:1200℃(<30min)，

·長(zhǎng)期工作溫度:1100℃

·爐管：

 材質(zhì)：高純石英

 尺寸：φ50-800mm （管徑可定制：最大兼容φ100mm）

·管堵材質(zhì)：硅酸鋁纖維（標(biāo)配）

 為保持管內(nèi)潔凈度，可選配石英多片式管堵

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·兩個(gè)溫區(qū)有獨(dú)立的控溫儀表控制溫度

·熱電偶兩根:三根進(jìn)口K型熱電偶，兩根用于爐子控溫，一根檢測(cè)樣品溫度。

·加熱元件:電阻絲

·加熱區(qū)長(zhǎng)度:L總：430mm（包含隔環(huán)）

        ZONE1#:200mm   ZONE2#:200mm

·推薦升溫速率:10℃/min

·爐體結(jié)構(gòu)：手動(dòng)開(kāi)啟式

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溫控系統(tǒng)

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃）

·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

·智能化50段可編程控制

·控溫精度：±1℃

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

·所有的元電件都通過(guò)UL或MET認(rèn)可，并可通過(guò)世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試

·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

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不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)

·一套不銹鋼水冷密封法蘭系統(tǒng)，密封法蘭和石英管之間采用硅膠 0型圈+壓環(huán)型圈密封方式

·右端法蘭裝有機(jī)械壓力表，不銹鋼G1/4 進(jìn)氣口和截止閥，采用卡箍連接波紋管方便拆卸

·右端法蘭+壓縮波紋管安裝于電動(dòng)直線滑臺(tái)上

·右法蘭內(nèi)固定一個(gè)一體式的石英坩堝

·材質(zhì)：石英

·尺寸：φ20mm-200mm

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·注：該坩堝尺寸可按照客戶需求定制

·左端法蘭上裝有不銹鋼G1/4出氣口和截止閥，一個(gè) KF25 接口用于對(duì)接真空系統(tǒng)

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坩堝移動(dòng)控制系統(tǒng)

·通過(guò)觸摸屏可視化控制操作

·一個(gè)K 型的鎧裝熱電偶通過(guò)法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的實(shí)際溫度  

·通過(guò)軟件界面操作來(lái)控制移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝(樣品臺(tái))，最大行程為200mm

·通過(guò)觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度為1m/小時(shí)(可根據(jù)要求提供變速控制，需要定制速度購(gòu)買前請(qǐng)與我司溝通）

·在熱電偶上安裝了一個(gè)微型坩堝舟，該坩堝可以依照需求定制尺寸

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石英管

·可選高純石英管尺寸：  

·50 O.D x 44 I.D x 800 L (mm)

·60 O.D x 55 I.D x 800 L (mm)

·80 O.D x 75 I.D x 800 L (mm)

·100 O.D x 95 I.D x 800 L (mm)

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水冷機(jī)

·水冷機(jī)外置，用于冷卻門和爐頂密封圈

·電源：AC220V  50HZ （加熱爐主體提供三孔電源）

·功率：0.8KW

·壓縮機(jī)功率：0.6KW

·冷卻劑：R22/R410-a（650g）

·工作電流：1.4-2.1A

·溫度控制：5~30℃

·溫度精度：±0.3℃

·換熱器：不銹鋼

·制冷量：2361Btu/h

·水箱容量：6L

·出入水口：外徑12mm銅咀

·最大流量：16L/mi

·外形尺寸：長(zhǎng)410mm*寬580mm*高465mm（長(zhǎng)度包含過(guò)濾器長(zhǎng)度）

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真空系統(tǒng)(選配）

·配套機(jī)械泵，真空度可以達(dá)到10-2 ttor

·配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 ttor（選配）

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重量

·約100kg
產(chǎn)品尺寸

·外形尺寸:2200X500X780mm(長(zhǎng)*寬*高) 

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保質(zhì)期

·1年(不包含爐管，氟膠0型圈和加熱元件等損耗件)
注意事項(xiàng)

·石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥， 以防意外發(fā)生(如爐管破裂，法蘭飛出等)

·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)     
視頻

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