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1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化,防腐型法蘭和閥門(mén),可用于SiC薄膜沉積)
產(chǎn)品概述:
立式高溫CVD系統(tǒng)如圖所示,由3路供氣系統(tǒng)與OTF-1700X立式爐組成,高溫爐以硅鉬棒為發(fā)熱元件,額定溫度1600℃,采用B型雙鉑銠熱電偶測(cè)溫和智能溫控儀自動(dòng)控溫,具有較高的控溫精度。上下密封法蘭采用鈦合金材料,具備一定的耐腐蝕性,另外還配備了一套鈦合金的精密氣液混合罐,用于前驅(qū)體制備。整套系統(tǒng)可用于CVD法制備SiC涂層或薄膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱型號(hào)

·1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化,防腐型法蘭和閥門(mén),可用于SiC薄膜沉積)

高溫爐參數(shù)

·額定功率:7KW

·額定電壓:AC220V 50/60HZ

·工作溫度:1600℃

·最高溫度:1700℃(≤30min)

·建議升溫速率:

  10℃/min (≤1400℃)

  5℃/min ( 1400℃-1600℃)

  2℃/min ( >1600℃)

·加熱元件:硅鉬棒

·熱電偶:B型

·加熱區(qū)長(zhǎng)度:400mm

·控溫精度:±1℃

·爐管尺寸:φ60*1000mm(陶瓷管)

溫控系統(tǒng):

·包含一款858型溫度控制器;PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

·智能化50段可編程控制

·內(nèi)置過(guò)熱保護(hù)和熱電偶故障報(bào)警

·控溫精度:±1℃

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)


不銹鋼密封系統(tǒng)

·一對(duì)鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端,采用氟膠O型圈密封。法蘭上含有水管接頭,通過(guò)的水管與水冷設(shè)備相連接。

·上端法蘭含有兩個(gè)316LEP材質(zhì)的卡套接頭作為進(jìn)氣口,分別通過(guò)一個(gè)316LEP隔膜閥控制進(jìn)氣的通斷,

  其中一個(gè)進(jìn)氣口與氣液混合罐的出氣口相連接,進(jìn)氣管道為316LEP材質(zhì),且包裹了玻璃纖維加熱帶,加熱帶最高加熱溫度200℃;

  另外一個(gè)進(jìn)氣口與供氣系統(tǒng)上的出氣口1相連接,進(jìn)氣管道為316LEP材質(zhì);安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表,用于觀察爐管壓力;

圖片1.png

·下端法蘭上的一個(gè)φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口,一個(gè)316LEP的隔膜閥控制出氣的通斷。出氣端氣體需進(jìn)行收集處理。

 一個(gè)KF40接口為抽真空接口,通過(guò)波紋管與真空泵相連接,安裝了一個(gè)安全泄壓閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力達(dá)到上限壓力時(shí),安全閥自動(dòng)打開(kāi)排氣;

 一個(gè)KF25接口與過(guò)濾桶組件連接。

·放樣:上法蘭留有樣品吊鉤,用于吊掛樣品,下法蘭也可以預(yù)留樣品放置平臺(tái)。

圖片2.png 圖片3.png

上懸掛法 下裝載法


 


氣液混合加熱裝置

·容量:300ml

·材質(zhì):鈦合金

·最大壓力:0.15MPa

·最高加熱溫度:150℃

·氣液混合罐的進(jìn)氣口連接供氣系統(tǒng)的出氣口2

·進(jìn)出氣截止閥為316LEP材質(zhì)的隔膜閥,進(jìn)出氣管道為316LEP材質(zhì)不銹鋼管

·氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置 28 段升溫程序,控溫精度+/-1oC

圖片4.png

供氣系統(tǒng)

·三個(gè)質(zhì)量流量控制器精準(zhǔn)控制氣體流量,量程:1-1000SCCM

·其中第二路的氣體流量計(jì)為CS200D

·一路和三路氣體進(jìn)入混氣罐內(nèi)混合后從供氣系統(tǒng)的出氣口1+3出氣,出氣口1+3通過(guò)不銹鋼氣管與法蘭上的進(jìn)氣口2相連接

·第二路氣體通過(guò)流量計(jì)后從供氣系統(tǒng)的出氣口2單獨(dú)出氣,通過(guò)四氟管與氣液混合罐的進(jìn)氣口相連接

圖片5.png

氣體探測(cè)裝置 (選配)

·供氣系統(tǒng)上含有兩個(gè)氣體探測(cè)器,一個(gè)為氫氣探測(cè)器,一個(gè)為氯化氫氣體探測(cè)器

·氣體探測(cè)報(bào)警器設(shè)置有兩極報(bào)警,氫氣探測(cè)器第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為50ppm(氯化氫第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為1.5ppm)

 一旦探測(cè)到的氣體的濃度達(dá)到此值時(shí),探測(cè)器報(bào)警器將發(fā)出峰鳴報(bào)警聲,提醒客戶檢查漏氣點(diǎn)。

 氫氣探測(cè)器第二級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為100ppm(氯化氫第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為3ppm),一旦探測(cè)到氣體溶度達(dá)到此值時(shí),系統(tǒng)將自動(dòng)關(guān)閉氣體的進(jìn)氣閥。

圖片6.png

過(guò)濾桶組件

·下法蘭的KF25接口通過(guò)波紋管過(guò)濾器連接,兩個(gè)過(guò)濾器之間通過(guò)波紋管串聯(lián)在一起。

 過(guò)濾器尺寸:φ200*300mm,過(guò)濾桶內(nèi)裝有過(guò)濾介質(zhì)(過(guò)濾介質(zhì)客戶自備),右側(cè)過(guò)濾桶的另一個(gè)KF25接口與收集裝置連接(收集裝置客戶自備)

圖片7.png

真空系統(tǒng)(選配)


·型號(hào):VRD-16

·抽氣速率:4.4L/S

·電機(jī)功率:550W

·極限壓強(qiáng):4×10-1Pa(不帶負(fù)載)

·實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘)

·為了得到更高的真空度,可以選購(gòu)我公司的其他高真空系統(tǒng)

企業(yè)微信截圖_20250212131659.jpg 

水冷設(shè)備(選配)

·型號(hào):CW-5000

·壓縮機(jī)功率:0.3KW

·水流速率:16L/min

·水箱容量:6L

·溫度控制:5-30℃


設(shè)備外形尺寸

·爐子主體:1180mm(L)*800mm(W)*2200mm(H)

·氣路系統(tǒng):600mm(L)*800mm(W)*970mm(H)

圖片10.png

重量

·約330KG


質(zhì)保

·一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

·特別提示:

 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)






使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,

 建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),

 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。

由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min)

· 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過(guò)程中會(huì)存在斷管的風(fēng)險(xiǎn),這是無(wú)法完全避免的,請(qǐng)客戶知曉




使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),

若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。

由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min)

· 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過(guò)程中會(huì)存在斷管的風(fēng)險(xiǎn),這是無(wú)法完全避免的,請(qǐng)客戶知曉


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