| 設(shè)備名稱型號(hào) | ·1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化，防腐型法蘭和閥門(mén)，可用于SiC薄膜沉積) |
| 高溫爐參數(shù) | ·額定功率：7KW ·額定電壓：AC220V 50/60HZ ·工作溫度：1600℃ ·最高溫度：1700℃（≤30min） ·建議升溫速率： 10℃/min (≤1400℃) 5℃/min ( 1400℃-1600℃) 2℃/min ( >1600℃) ·加熱元件：硅鉬棒 ·熱電偶：B型 ·加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm ·控溫精度：±1℃ ·爐管尺寸：φ60*1000mm（陶瓷管） 溫控系統(tǒng)： ·包含一款858型溫度控制器；PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·內(nèi)置過(guò)熱保護(hù)和熱電偶故障報(bào)警 ·控溫精度：±1℃ ·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
| 不銹鋼密封系統(tǒng) | ·一對(duì)鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端，采用氟膠O型圈密封。法蘭上含有水管接頭，通過(guò)的水管與水冷設(shè)備相連接。 ·上端法蘭含有兩個(gè)316LEP材質(zhì)的卡套接頭作為進(jìn)氣口，分別通過(guò)一個(gè)316LEP隔膜閥控制進(jìn)氣的通斷， 其中一個(gè)進(jìn)氣口與氣液混合罐的出氣口相連接，進(jìn)氣管道為316LEP材質(zhì)，且包裹了玻璃纖維加熱帶，加熱帶最高加熱溫度200℃； 另外一個(gè)進(jìn)氣口與供氣系統(tǒng)上的出氣口1相連接，進(jìn)氣管道為316LEP材質(zhì)；安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表，用于觀察爐管壓力；
·下端法蘭上的一個(gè)φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口，一個(gè)316LEP的隔膜閥控制出氣的通斷。出氣端氣體需進(jìn)行收集處理。 一個(gè)KF40接口為抽真空接口，通過(guò)波紋管與真空泵相連接，安裝了一個(gè)安全泄壓閥，當(dāng)爐管內(nèi)壓力達(dá)到上限壓力時(shí)，安全閥自動(dòng)打開(kāi)排氣； 一個(gè)KF25接口與過(guò)濾桶組件連接。 ·放樣：上法蘭留有樣品吊鉤，用于吊掛樣品，下法蘭也可以預(yù)留樣品放置平臺(tái)。
上懸掛法 下裝載法 |
| 氣液混合加熱裝置 | ·容量:300ml ·材質(zhì)：鈦合金 ·最大壓力：0.15MPa ·最高加熱溫度：150℃ ·氣液混合罐的進(jìn)氣口連接供氣系統(tǒng)的出氣口2 ·進(jìn)出氣截止閥為316LEP材質(zhì)的隔膜閥，進(jìn)出氣管道為316LEP材質(zhì)不銹鋼管 ·氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置 28 段升溫程序，控溫精度+/-1oC
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| 供氣系統(tǒng) | ·三個(gè)質(zhì)量流量控制器精準(zhǔn)控制氣體流量，量程：1-1000SCCM ·其中第二路的氣體流量計(jì)為CS200D ·一路和三路氣體進(jìn)入混氣罐內(nèi)混合后從供氣系統(tǒng)的出氣口1+3出氣，出氣口1+3通過(guò)不銹鋼氣管與法蘭上的進(jìn)氣口2相連接 ·第二路氣體通過(guò)流量計(jì)后從供氣系統(tǒng)的出氣口2單獨(dú)出氣，通過(guò)四氟管與氣液混合罐的進(jìn)氣口相連接
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| 氣體探測(cè)裝置 （選配） | ·供氣系統(tǒng)上含有兩個(gè)氣體探測(cè)器，一個(gè)為氫氣探測(cè)器，一個(gè)為氯化氫氣體探測(cè)器 ·氣體探測(cè)報(bào)警器設(shè)置有兩極報(bào)警，氫氣探測(cè)器第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為50ppm（氯化氫第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為1.5ppm） 一旦探測(cè)到的氣體的濃度達(dá)到此值時(shí)，探測(cè)器報(bào)警器將發(fā)出峰鳴報(bào)警聲，提醒客戶檢查漏氣點(diǎn)。 氫氣探測(cè)器第二級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為100ppm（氯化氫第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為3ppm），一旦探測(cè)到氣體溶度達(dá)到此值時(shí)，系統(tǒng)將自動(dòng)關(guān)閉氣體的進(jìn)氣閥。
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| 過(guò)濾桶組件 | ·下法蘭的KF25接口通過(guò)波紋管過(guò)濾器連接，兩個(gè)過(guò)濾器之間通過(guò)波紋管串聯(lián)在一起。 過(guò)濾器尺寸：φ200*300mm，過(guò)濾桶內(nèi)裝有過(guò)濾介質(zhì)（過(guò)濾介質(zhì)客戶自備），右側(cè)過(guò)濾桶的另一個(gè)KF25接口與收集裝置連接（收集裝置客戶自備）
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| 真空系統(tǒng)（選配） | ·型號(hào)：VRD-16 ·抽氣速率：4.4L/S ·電機(jī)功率：550W ·極限壓強(qiáng)：4×10-1Pa（不帶負(fù)載） ·實(shí)際壓強(qiáng)：≤2 Pa（帶上爐管和密封法蘭，冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘） ·為了得到更高的真空度，可以選購(gòu)我公司的其他高真空系統(tǒng)
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| 水冷設(shè)備（選配） | ·型號(hào)：CW-5000 ·壓縮機(jī)功率：0.3KW ·水流速率：16L/min ·水箱容量：6L ·溫度控制：5-30℃ |
| 設(shè)備外形尺寸 | ·爐子主體：1180mm（L）*800mm（W）*2200mm（H） ·氣路系統(tǒng)：600mm（L）*800mm（W）*970mm（H）
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| 重量 | ·約330KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護(hù) ·特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全， 建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 氣體的流量應(yīng)＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化鋁管制作工藝的原因，爐管在燒結(jié)過(guò)程中會(huì)存在斷管的風(fēng)險(xiǎn)，這是無(wú)法完全避免的，請(qǐng)客戶知曉 |
使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 氣體的流量應(yīng)＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化鋁管制作工藝的原因，爐管在燒結(jié)過(guò)程中會(huì)存在斷管的風(fēng)險(xiǎn)，這是無(wú)法完全避免的，請(qǐng)客戶知曉 |
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