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- 其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
防腐型供氣系統(tǒng)(100 -1000 mL/min)
- 型號(hào)：
- EQ-CGM-3F-PTFE
- 產(chǎn)品概述：
- EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混氣系統(tǒng)，可以與管式爐一起放在小通風(fēng)柜中。其中與氣體接觸的部件均由聚四氟乙烯制成（例如閥門(mén)、管道、混合罐和流量計(jì)），用于輸送腐蝕性氣體，例如用于 CVD 處理的硫化氫 (H2S) 和硒化氫 (H2Se)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 流量計(jì)
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·三個(gè)由聚四氟乙烯制成的防腐氣體流量計(jì)，流速為100-1000 mL/min（0.1-1.0 L/min）； ·一個(gè)機(jī)械壓力表（混合罐）：0-0.05 MPa
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| 閥門(mén)
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·前面板有三個(gè)聚四氟乙烯針閥，用于控制氣體出口 
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| 儲(chǔ)氣罐
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·500 mL聚四氟乙烯儲(chǔ)氣罐； ·內(nèi)置氣體混合罐，可更好的混合氣體
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| 管道配件
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·由聚四氟乙烯制成的管道配件，可兼容φ6.35mm的管道（尼龍或不銹鋼）； ·有三個(gè)氣體入口，每個(gè)通道都有獨(dú)立的氣體流量計(jì)； ·12”長(zhǎng)1/4”直徑的聚四氟管  
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| 尺寸
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·外形尺寸：340Lx300Dx180H，mm
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| 重量
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·7.25kg
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| 質(zhì)保期
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·一年
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| 相關(guān)產(chǎn)品
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CVD&PECVD 供液系統(tǒng)
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| 應(yīng)用提示
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·如果您的CVD實(shí)驗(yàn)涉及腐蝕性氣體，如硫化氫，您可選購(gòu)我公司聚四氟乙烯法蘭
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