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防腐型供氣系統(tǒng)(100 -1000 mL/min)
型號(hào):
EQ-CGM-3F-PTFE
產(chǎn)品概述:
EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混氣系統(tǒng),可以與管式爐一起放在小通風(fēng)柜中。其中與氣體接觸的部件均由聚四氟乙烯制成(例如閥門(mén)、管道、混合罐和流量計(jì)),用于輸送腐蝕性氣體,例如用于 CVD 處理的硫化氫 (H2S) 和硒化氫 (H2Se)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
流量計(jì)

·三個(gè)由聚四氟乙烯制成的防腐氣體流量計(jì),流速為100-1000 mL/min(0.1-1.0 L/min);

·一個(gè)機(jī)械壓力表(混合罐):0-0.05 MPa


閥門(mén)

·前面板有三個(gè)聚四氟乙烯針閥,用于控制氣體出口

圖片4.png

儲(chǔ)氣罐

·500 mL聚四氟乙烯儲(chǔ)氣罐;

·內(nèi)置氣體混合罐,可更好的混合氣體


管道配件

·由聚四氟乙烯制成的管道配件,可兼容φ6.35mm的管道(尼龍或不銹鋼);

·有三個(gè)氣體入口,每個(gè)通道都有獨(dú)立的氣體流量計(jì);

·12”長(zhǎng)1/4”直徑的聚四氟管

圖片5.png 圖片6.png

尺寸

·外形尺寸:340Lx300Dx180H,mm


重量

·7.25kg


質(zhì)保期

·一年


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                   CVD&PECVD                                          供液系統(tǒng)


應(yīng)用提示

·如果您的CVD實(shí)驗(yàn)涉及腐蝕性氣體,如硫化氫,您可選購(gòu)我公司聚四氟乙烯法蘭


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